与其他介质的电容器相比，真空电容器具有耐压高，体积小，损耗低，性能稳定可靠的特点。其独特的特点如下：额定电压 - 由于真空的高介电强度，再加上粉尘污染，水分等特性，真空电容器具有较大的额定电压，适用于一定的尺寸和容量。
高达数十万伏特。低损耗和高额定电流 - 由于电容器使用真空介质和低损耗绝缘外壳以及无氧铜电极结构，因此在一般对流冷却的情况下即使在高频下也能传递大的RF电流。
如果使用特殊的水冷结构，RF电流可以达到数千安培。节省空间 - 真空电容器占用给定电容和额定电压的最小空间。
宽调节范围 - 最大容量和最小容量比高达150：1，从几皮法到几千皮法，使其成为宽调谐范围的理想组件。过电压的自我修复能力 - 真空电容器可以承受瞬态过电压，对于其他电容器，会导致永久性损坏。
高海拔工作能力 - 真空密封允许真空电容器在高海拔地区运行而不会降低其特性。

1）广播通信设备：真空电容器用于中波，短波和超短波发射器，作为调谐，耦合，滤波，中和和直流阻断的组件。
2）半导体制造设备：等离子体沉积和蚀刻设备3）高频工业设备：用于高频电介质加热和焊接等.4）医疗设备：医疗分析仪和治疗仪器等.5）高能物理：高能粒子加速器等.6）电力设备：用于介电损耗测试设备。