多通道石英晶体监视器
1,RS-232接口,USB或以太网可选2,双通道(标准),4通道可选3,高精度:10读数0.03Hz / s 4,沉积速率/薄膜厚度模拟输出QCM传感器输入:标准型: 2;可选:4频率范围:1-10 MHz频率分辨率:标准型:±0.12 Hz @ 4读数/秒,可选:±0.03 Hz @ 10读数/秒频率稳定性别:0至50C,总计±2 ppm可选测量周期:0.10至2秒(每次测量增量0.05秒)测量选项:1至20个读数存储膜:99模拟输出:2 0至10 VDC输出,沉积速率& amp;薄膜厚度数字输入/输出:2个数字输入,4个继电器输出数字接口:标准型:RS-232,可选:USB或以太网电源:0-120 / 200-240 VAC,50/60 Hz,20 W CE标记:1类设备,73/72 / EE C LVD,89/336 / EEC ECD安装支架:1/2机架式机柜,3-1 / 2“高,89 x 213 x 197毫米(3-1 / 2“x 8-1 / 2”x 7-3 / 4“)重量:2.7千克(6磅)Windows软件(附带):提供远程安装和操作说明,数据输入功能开启率和胶片厚度测量,只需按住Zero按钮清除最后一个读数,然后关闭,打开源和传感器板。即使操作员与显示器保持一定距离,大而明亮的LED显示屏也可同时显示薄膜厚度和沉积速率。
当达到预设的薄膜厚度或涂层时间结束时,挡板将自动关闭,前面板警报将开始亮起。在涂层过程中,操作员可以通过Xtal Life按钮随时查看晶圆的剩余寿命。
双菜单允许您设置显示器的99内存系统。首先,选择“程序”按钮,进入菜单,然后旋转拨号按钮,以便您可以选择或编辑参数。
主显示界面显示菜单提示,设置数据可在辅助界面中找到。